精品一卡二卡三卡四卡网站,99精品国产自在现线10页,自拍亚洲在线播放视频,高清日韩电视剧大全

公司資訊

追求完美 至誠至真

我們的服務(wù)理念

時(shí)刻對品牌負(fù)責(zé),讓用戶滿易!

我們秉承的宗旨

誠信 踏實(shí) 優(yōu)質(zhì) 一流
位置: 首頁 > 公司資訊 > 行業(yè)動(dòng)態(tài)

高溫壓力傳感器在設(shè)計(jì)中的難點(diǎn)

3906次 2018-04-23 返回 >

壓力傳感器是目前應(yīng)用最為廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主,利用壓電效應(yīng),把彈性體的形變轉(zhuǎn)換成對應(yīng)壓力的大小。 
 高溫壓力傳感器是目前應(yīng)用最為廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主,利用壓電效應(yīng),把彈性體的形變轉(zhuǎn)換成對應(yīng)壓力的大小。隨著半導(dǎo)體技術(shù)和MEMS技術(shù)的發(fā)展,壓力傳感器性能得到大幅提高,不僅體積小、質(zhì)量輕、功耗小,而且精度、穩(wěn)定性、可靠性更高,這也大大擴(kuò)展了它的應(yīng)用市場。高溫壓力傳感器主要是為了解決高溫環(huán)境下各種氣體、液體壓力的測量,廣泛應(yīng)用于鍋爐、管道、高溫反應(yīng)容器內(nèi)的壓力、井下壓力和各種發(fā)動(dòng)機(jī)腔體內(nèi)的壓力、高溫油品液位與檢測、油井測壓等領(lǐng)域壓力的測量。在這些領(lǐng)域中,傳感器都處于高溫環(huán)境條件下工作,使得傳感器的放大電路工作很容易失效,這也是高溫壓力傳感器設(shè)計(jì)的難點(diǎn)。最好的解決辦法就是將傳感器件與放大電路相分離,其中傳感器件由MEMS工藝來實(shí)現(xiàn),信號激勵(lì)與信號處理由計(jì)算機(jī)來完成。

    硅電容式壓力傳感器的感應(yīng)元件是半導(dǎo)體薄膜,它主要由單晶硅和多晶硅制作而成。典型的電容式傳感器結(jié)構(gòu)由上下電極、絕緣體和襯底所組成。當(dāng)薄膜受壓力作用時(shí),它會(huì)發(fā)生形變,這就導(dǎo)致上下電極之間的距離緊跟著發(fā)生變化,從而使電容發(fā)生變化。但電容的變化與上下電極之間的距離呈非線性關(guān)系。所以,要用補(bǔ)償電路對其進(jìn)行補(bǔ)償。由于高溫條件對補(bǔ)償電路的影響很大,所以應(yīng)當(dāng)避免補(bǔ)償電路在高溫環(huán)境下工作,最好的解決辦法就是把傳感器件與放大電路分離,通過模型識別來得到所測環(huán)境的壓力。